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Linear Planar Servo Motor

平面伺服馬達 LMSP

平面伺服馬達藉由空氣軸承並整合位置感測器，可於單一定子上放置多顆動子。
  • 雙軸定位平台
  • 整合位置感測器可作閉迴路控制
  • 採用空氣軸承故無磨耗
  • 磁場不外漏，不影響周圍設備
  • 無溫升問題，系統精度相對穩定
  • 可倒吊安裝
0.001 mm

重現精度

定子 最大面積

1000x1000mm

0.001 mm

高解析度

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