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Nano Positioning Stage

奈米定位平台

奈米定位平台 ，擁有高穩定結構設計，奈米級伺服控制水準，並搭配軟體方案，
提升整體設備精度，完美呈現機、電、軟體高度整合力，滿足半導體設備提升需求。
  • 奈米級定位：適用高階精密檢測儀器，達成各項精細檢測任務，符合產業應用持續升級趨勢。
  • 穩定運動控制：擁有完整路徑規劃功能，搭配自動調適，展現穩定運動控制，
    發揮極致動態性能。
  • 智慧製造：透過智慧模組即可輕鬆實現穩定製程，減少非預期停機損失。
  • 整合關鍵技術：透過各項軟、硬體技術提升、整合，降低使用者設備升級之成本壓力。
±2 nm

奈米級位置穩定度

±0.1%

速度平穩控制 @100 mm/s

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