大银全系列真空电机：大银基于多年来与高端半导体制造商合作，推出真空直线电机与真空直驱电机系列，针对真空应用提供客户最佳的解决方案。全系列产品皆有强大的性能并可符合最严格的真空要求。实际应用：晶圆研磨、离心清洗、离心干燥、PVD、CVD、納米级晶圆检测等
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