Nano Positioning Stage

纳米定位平台

纳米定位平台 ，拥有高稳定结构设计，纳米级伺服控制水平，并搭配软件方案，提升整体设备精度，完美呈现机、电、软件高度整合力，满足半导体设备提升需求。
  • 纳米级定位：适用高阶精密检测仪器，达成各项精细检测任务，符合产业应用持续升级趋势。
  • 稳定运动控制：拥有完整路径规划功能，搭配自动调适，展现稳定运动控制，发挥极致动态性能。
  • 智能制造：透过智能模块即可轻松实现稳定制程，减少非预期停机损失。
  • 整合关键技术：透过各项软、硬件技术提升、整合，降低使用者设备升级之成本压力。
±2 nm

纳米级位置稳定度

±0.1%

速度平稳控制 @100 mm/s

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