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直线电机定位平台
平面伺服电机 LMSP
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Linear Planar Servo Motor
平面伺服电机 LMSP
平面伺服电机藉由空气轴承并整合位置传感器,可于单一定子上放置多颗动子。
双轴定位平台
整合位置传感器可作闭回路控制
采用空气轴承故无磨耗
磁场不外漏,不影响周围设备
无温升问题,系统精度相对稳定
可倒吊安装
0.001
mm
重现精度
定子
最大
面积
1000x1000mm
0.001
mm
高分辨率
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